Главная » 2010 » Июнь » 26 » Российские учёные создали многоволновой рентгеновский рефлектометр для диагностики наноструктур
10:41
Российские учёные создали многоволновой рентгеновский рефлектометр для диагностики наноструктур
Физики и инженеры-электронщики из Физического института им. П. Н. Лебедева РАН (ФИАН) совместно с конструкторами ООО «Институт рентгеновской оптики» (ИРО) разработали и создали многоволновой рентгеновский рефлектометр для диагностики наноструктур. Разработка оказалась удачной и теперь начато изготовление второго коммерческого образца установки.
Рентгеновская рефлектометрия применяется для бесконтактной неразрушающей диагностики слоистых тонкоплёночных наноструктур. Этот метод позволяет определить толщину слоёв тонких плёнок нанометровой толщины или шероховатость поверхностей, период многослойных наноструктур и диффузионное размытие внутренних границ раздела.
Разработанный ФИАН совместно с ИРО - многоволновой рефлектометр «X-Ray MiniLab-N» (N - количество исходно возможных аналитических функций), по сравнению с существующими аппаратами имеет более высокие метрологические характеристики, которые позволяют проводить измерения на нескольких длинах волн одновременно и обеспечивает новые диагностические возможности анализа поверхности слоёв.
Установка представляет собой своего рода минилабораторию, которая по совокупности аналитических функций, не имеет аналогов в мире. Она будет незаменима при таких методиках исследования как рефлектометрия, дифрактометрия, рефрактометрия, малоугловое рассеяние, рентгено-флуоресцентный анализ и др.
Количество необходимых аналитических функций определяет сам заказчик, который при необходимости может установить на прибор дополнительные устройства. Это обстоятельство существенно отличает многоволновой рефлектометр «X-Ray MiniLab-N» от «принципиально подобных» зарубежных систем.
Первым заказчиком стал Московский институт электронной техники (МИЭТ). Их установка, ставшая первым коммерческим образцом, имеет 5 аналитических функций, и поэтому получила название «X-Ray MiniLab-5».
Руководитель проекта доктор физ.-мат. наук Физического института им. П. Н. Лебедева РАН Александр Турьянский:
«Насколько мне известно, система работает безотказно и заказчик очень доволен. В настоящее время получен заказ Южного федерального университета, для них мы начнём изготовление второго коммерческого образца. Там пока определяются с количеством необходимых аналитических функций», - говорит Турьянский.
Физики и инженеры-электронщики из Физического института им. П. Н. Лебедева РАН (ФИАН) совместно с конструкторами ООО «Институт рентгеновской оптики» (ИРО) разработали и создали многоволновой рентгеновский рефлектометр для диагностики наноструктур. Разработка оказалась удачной и теперь начато изготовление второго коммерческого образца установки.
